0755-29356509
Tiếng Việt
0755-29356509
The TC Wafer Wafer Temperature Measurement System embeds high-temperature resistant thermocouple sensors on the wafer surface using independently developed core technologies, enabling real-time monitoring and recording of temperature change data during the wafer manufacturing process. It provides an efficient and reliable method for monitoring and optimizing key process parameters in semiconductor manufacturing.
【Phạm vi ứng dụng】
Lắng đọng hơi vật lý (PVD), Lắng đọng nguyên tử lớp (ALD), Lắng đọng hơi hóa học (CVD), Lò ủ, Thiết bị tẩy photoresist, Liên kết tạm wafer, Thiết bị tráng và hiện ảnh TRACK, Bảng gia nhiệt, Đĩa gia nhiệt
5. Hỗ trợ kiểm soát và tối ưu hóa quy trình: Giám sát liên tục sự thay đổi nhiệt độ của wafer trong quá trình xử lý nhiệt giúp kỹ sư điều chỉnh các thông số quy trình, nâng cao hiệu suất sản xuất và đảm bảo chất lượng sản phẩm.
6. Phù hợp với nhiều kích thước wafer: Thiết kế của TC Wafer cho phép sử dụng với các loại wafer có đường kính khác nhau, từ 2 inch đến 12 inch, đáp ứng đa dạng nhu cầu sản xuất.
