【Phạm vi ứng dụng】  

Hộp đựng wafer, FOUP, cánh tay robot vận chuyển wafer tự động, thiết bị căn chỉnh wafer, khóa tải, chân đế nâng wafer, đế buồng gia công, hệ thống vận chuyển bằng Overhead Transport, thiết bị tích hợp tải và kiểm tra wafer SMIF.  

【Ưu điểm sản phẩm】  

1. **Thu thập nhiệt độ không dây**: Cảm biến truyền dữ liệu không cần kết nối dây, đáp ứng yêu cầu đo thông số wafer trong điều kiện phức tạp thông qua phương thức truyền thông không dây.  

2. **Giám sát dữ liệu đa thông số thời gian thực**: AVLS có khả năng đo chuyên nghiệp các thông số quan trọng như gia tốc, rung, độ cân bằng, góc chỉnh cân bằng của wafer trong quá trình sản xuất.  

3. **Độ chính xác và độ nhạy cao**: Cảm biến đạt độ chính xác và độ nhạy cao, đáp ứng các tiêu chuẩn và yêu cầu công nghiệp khắt khe.  

4. **Hỗ trợ điều chỉnh và xác minh quy trình**: Thông qua phân tích dữ liệu thông số thu thập được trong điều kiện công nghệ sản phẩm, giúp điều chỉnh các bước quy trình để đảm bảo hiệu suất tối ưu.  

5. **Thiết kế nhỏ gọn**: Thiết kế nhẹ và gọn của hệ thống AVLS giúp nó phù hợp với nhiều thiết bị và môi trường ứng dụng, đặc biệt mang lại sự linh hoạt và tiện lợi cao hơn cho các không gian hạn chế.  

6. **Hiệu suất tiêu thụ điện thấp**: Đặc tính tiêu thụ điện thấp giúp hệ thống hoạt động ổn định trong thời gian dài mà không ảnh hưởng đến hiệu suất.